Турбомолекулярные насосы Edwards

19 ноября 2020


Фирма Edwards специализируется на проектировании и производстве вакуумного оборудования. Она была создана более 100 лет назад. Продукцию компании можно встретить в самых разных производственных сферах. Среди широкого ассортимента изделий — высокотехнологичные турбомолекулярные насосы.

Турбомолекулярные насосы Edwards отличают передовые разработки и высокий функционал. Они востребованы в промышленности и научно-исследовательской сфере. Устройства генерируют высокую и сверхвысокую степень разрежённости среды.

Область применения

  • Сборка полупроводников.
  • Микроэлектроника.
  • Приборы для научных лабораторий, в которых изучаются электрофизические характеристики веществ.
  • Нанесение плёнок.
  • Ускорители.

Принцип действия

Работа таких устройств базируется на молекулярно-кинетических явлениях. Турбомолекулярный насос работает на повышенных скоростях. Скорость ротора, выполненного в форме цилиндра, пропорциональна размеру прибора.

Внутри устройства находятся многочисленные наклонные «ступени», вращающиеся вокруг оси, а также статорные пластины. Они имеют минимальную толщину. На дисках находятся радиальные каналы, расположенные под углом. Они помогают придавать потокам газа нужный вектор движения.

Пластины захватывают молекулы воздушной среды и увлекают их в нужном направлении. При входе в полость частицы газа «наталкиваются» на движущуюся часть механизма. При этом им придаётся дополнительное ускорение. Ближе к выходному отверстию газ сжимается.

Всё это происходит в прочном герметичном корпусе, имеющим каналы для входа и выхода откачиваемого материала. Траектории движущихся частей и откачиваемых частиц являются взаимно перпендикулярными.

Подшипники способствуют беспрепятственному движению ротора. Они расположены в верхней и нижней частях механизма.

Модели

Новинкой компании Edwards являются модели nEXT730 и nEXT930. Скорость откачки таких газов, как азот, в них увеличена. Модели являются представителями семейства nEXT, которое завоевало популярность во всём мире.

Скорость откачки устройствами данной серии варьируется от 80 до 400 литров в секунду, а вышеуказанных разновидностей — 700-900 литров в секунду. Также они позволяют достигать высокой степени сжатия газовой среды. Это происходит благодаря инновационному усовершенствованию движущихся пластин.

Насосы этой серии востребованы в научно-исследовательских лабораториях, при термообработке и электронно-лучевой сварке.

Преимущества продукции

  • Две разновидности подшипников: магнитные и механическая керамика. Это позволяет им выдерживать повышенные нагрузки, неизбежные при больших скоростях.
  • Инновационная технология изготовления роторов, позволяющая сочетать повышенную скорость откачки и сжатие газа.
  • Высокая пропускная способность.
  • Долговечность.
  • Наличие в ассортименте моделей, предназначенных для работы в агрессивных условиях.
  • Минимальная потребность в техобслуживании.
  • Компактные размеры.
  • Простой монтаж.
  • Система предупреждения сбоев.
  • Способность длительно поддерживать требуемую степень вакуума.

Дополнительным преимуществом выступает интегрированная интеллектуальная система управления. Найти насосы Edwards можно в каталогах торговых порталов. К примеру на сайте, поставляющем вакуумное оборудование blowercompressor.ru